KM-V · 块体材料与小批量
KM-V用于块体、基板与8英寸晶圆干燥，V6/V8标准仓约679/1162 mL。
技术规格
以下为本型号当前版本设计规格；标注"按配置"的项目随样品、治具与方案确定，最终以正式规格书为准。CO2 消耗与处理周期随样品和程序窗口确定。
| 标准样品仓 | KM-V6：6.5″ × 32 mm / 约 679 mL；KM-V8：8.5″ × 32 mm / 约 1162 mL |
|---|---|
| 深仓方案 | 4.5″–8.5″ 可定制，容积与深度按项目确认 |
| 晶圆治具 | 8″ 提篮，片数按仓体与治具确认 |
| 工作压力 | 0–2000 psi |
| 工作温度 | −30 ~ 60 °C |
| 制冷 / 回收 | 闭环制冷 + 冷凝分离，降低 CO2 消耗 |
| 接液材料 | 316L，按配置确认 |
| 过滤等级 | 半导体级过滤方案可选 |
| 控制方式 | 触摸屏 PLC/HMI，配方与批次比较 |
| 安全保护 | 门盖、超温超压联锁 + 紧急泄压，经现场验收 |
产品宣传页
样品与夹具
按样品形态配置料仓与承载结构，覆盖多孔托盘、网面承载和分层装载方式。
结构示意多孔托盘与周向衬环组合，适配气凝胶等块体与颗粒样品。
结构示意细密网面配合周向密封，适配薄片及易碎样品。
结构示意按样品尺寸分层排布，提高单批装载与处理数量。
样品实拍较大体积高孔隙率材料的整体干燥。
样品实拍晶圆级干燥与结构释放的工艺验证。
样品示意多样品同批处理与批次工艺窗口比较。
技术特点
功能示意
稳定进液条件并回收 CO2，降低连续小批量验证阶段的消耗。
标准 KM-V6/KM-V8 仓体约 679/1162 mL；深仓方案的容积与深度按项目确认。
支持晶圆提篮、填充环与堆叠垫圈，适配晶圆级干燥验证。
配方存储与运行日志，便于小批量验证时比较不同批次。
选型与前处理
KM-V6为6.5英寸×32 mm，约679 mL；KM-V8为8.5英寸×32 mm，约1162 mL。装样量需结合载具占用空间确认。
可配置8英寸晶圆提篮。单批片数取决于仓体、提篮结构、片间距及工艺要求，不能仅凭仓体容积确定，需按样品与治具确认。
公开工作范围为0–2000 psi、−30–60 °C。具体程序需结合样品、溶剂与置换路径确认，最终以正式规格书和工艺验证为准。
KM-V可评估4.5–8.5英寸口径的深仓，深度与容积按项目确定。12英寸晶圆、自动釜盖或洁净产线接口需求可进一步评估KM-S。
您提供样品、批量与目标形貌，我们用 KM-V 完成置换、跨越临界点与冷凝回收的完整流程，并反馈处理后的样品状态与批次表现。
